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光学系统
• 光学系统包括显微镜、显微镜支架、CCD相机和11寸显示屏等组件，可以对待测器件观测并放大，在显示屏上呈现
• 显微镜兼配同轴光源和环形光源，保证各种样品的清晰度
• 显微镜的放大倍数为10-180倍，最小可视分辨率可达3um以内，与市面上的先进探针台光学系统相当，测试方法采用1951分辨率测试靶
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2024-09-19
2024-09-06
2024-09-09
