提供光学聚焦选件，工作距离为18mm，见下表：
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 光学聚焦选件 | LWK-18 | 探针台光学聚焦选件，真空腔上窗口外表面到样品座上表面的距离为18mm |
特点
• 工作距离短，从真空腔上窗口外表面到样品坐上表面的距离为18mm
• 安装石英窗口，窗口直径：50mm
• 可以兼容最多6个探针臂，探针臂匹配阻抗50欧姆，频率：DC-50MHz，能够升级为射频探针臂
• 探针臂可以X-Y-Z-R位移，X=±50mm, Y=±12.5mm, Z=±6.5mm,R=±10°，能满足4英寸样品所有区域的扎针
• 漏电流小，在100fA以内
• 温度范围：80-500K
• 温度稳定性：±50mK
• PSM-LN2标准系统可升级
光学聚焦选件组成：
• 探针台聚焦上盖，安装50mm直径石英窗口
• 超薄探针臂支架
• 4个直流聚焦探针，直径为100um，材质铍铜和钨可选，可通信号频率DC-50MHz，通过螺钉固定，拆装非常方便
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