PSM-PM系列永磁铁低温探针台是一款专门针对低温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。

永磁铁低温探针台主要特点：

1、永磁铁低温探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到低温度只需0.2L渣氯，使用方便快捷同时兼顾经济性。
2、探针臂底座采用磁铁吸附固定，独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足大4英寸样品的测试。
3、样品座可以放置大4英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现大X-Y轴±100mm的移动行程，并且样品座本身可以进行四维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。
4、真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性。
5、探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K。
6、永磁铁采用电动滑台控制，可以实现前进后退翻转运动。
7、永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上。
8、测试温度范围宽，大支持80K-800K连续变温。
9、上盖采用翻盖结构，换样更便捷。