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产品简介：

PSM-FLV-mini微型连续流液氮探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个77K—800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。

PSM-FLV-mini微型连续流液氮探针台能够对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。有别于其他类型的液氮探针台，PSM-FLV-mini微型连续流液氮探针台是一款专为微纳材料低温电学性能表征定制的紧凑型科研测试设备，精准区别于传统商用低温探针台。市面常规低温探针台多针对晶圆、大尺寸半导体器件的电学检测设计，设备体积庞大，造价成本高。

PSM-FLV-mini微型连续流液氮探针台以材料科学低温电学测试刚需为核心，采用微型一体化集成架构，厚度只有35mm，搭载连续流液氮精准温控系统，可匹配各种光谱仪和磁铁，专注解决各类新型功能材料、低维材料的变温电阻、IV特性、光电电学、低温输运等电学性能测试难题。体积小巧、性价比高，是高校实验室、科研院所开展低温材料电学研究的入门级低温变温探针台。

产品特点：

· 微型连续流液氮探针台，测试温度范围宽，最大支持77K-800K连续变温；
· 快速降温，15分钟内样品座温度可达77K；
· 超薄真空腔体设计，真空腔厚度仅35mm，可兼容各类光谱仪、磁场装置，适配性强；
· 铝制真空腔体，降低外部电磁干扰，提升测试精度与稳定性；
· 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试；
· 独特的探针臂X-Z-R三维调节，能满足最大15mm样品的测试；
· 集成一体化系统，带温控自动系统与真空系统，操作便捷，性价比高。